中国科学学院上海微系统研究所已开发出高性能

5月16日的住所报道说，中国科学院宣布，上海微型系统和信息技术研究所的研究员吴Zhenyu团队以及助理研究员王·拉霍（Wang Lahao）开发了高性能10mm的高效率10mm较大的PiezoEleclectric Mems（Micro-Electromekas Systems）玻璃。该产品可以实现更准确的闭环环环控制控制，满足激光局间链路的高精度要求，快速响应和稳定性，并为卫星通信终端提供微型和高性能解决方案。快速镜在梁方向上起着重要的作用，捕获和跟踪卫星激光通信，并且有一系列极端性能指标，例如高方向的精度，高工作带宽和高质量。据报道，研究小组根据以前的R开发了一个10mm的压电驱动器MEMS快速玻璃研究。该设计采用了双层异源整合技术和粘结级晶圆级别的过程，该设备具有高阶的超高角度，对步进和高重复定位的快速响应。在结构设计方面，研究团队对机械结构进行了创新，以开发集中应力的区域，从而显着优化了光束控制的准确性。在绩效识别方面，研究团队首次表征了10毫米大玻璃直径的动态变形。在准驱动驱动器下表面上的最大动态变形仅为2纳米，这满足了表面玻璃类型的长距离卫星激光通信的严格要求。研究小组说，与机械快速和现有商业玻璃的传统镜子相比，该设备具有巨大的好处，并且在Fiel中具有重要的应用前景航空航天。将来，它将继续优化玻璃尺寸研究，闭环控制和设备可靠性。 Home发现，相关研究于4月29日发表在“微系统和纳米工程”中。纸质地址：https：//doi.org/10.10.1038/s41378-025-00935-1